研究内容

  • ナノ精度機械加工技術

    日本の“ものづくり”がこれからも世界をリードしていくためには、海外の技術では到達できないような、より高い精度と付加価値をもった製品開発を強力に推進していかなければならない。

  • M4プロセス技術

    近年、マイクロレンズアレイ、ホログラム光学素子、光導波路などのように、シリコン以外の材料からなるマイクロ部品のニーズが高まってきている。