ナノ・マイクロ3次元複合構造体の創成

 ナノ精度機械加工により加工した溝やピラミッドといったマイクロ構造体上に、サブミクロンサイズの微細構造体を創成するための機械的手法、並びに光学的手法に関して研究開発している。特に、超音波援用研削法は高速でサブミクロン周期構造を創成できるために有効である。本研究室では3軸方向に振動可能な3D超音波スピンドルを開発するとともに、これまでに蓄積してきた極微粒ダイヤモンド砥石の製造ノウハウ、超精密ツルーイング・ドレッシング技術を駆使して、NiPやCuメッキ面上にサブミクロンサイズの構造体を形成することを可能とした。この技術は、機能性インターフェイス創成の一つの手法として有望で、次世代の太陽電池、燃料電池、高機能性フィルムなどへの応用が期待されている。

  • (a)マイクロ溝
    マイクロ構造体とサブミクロン構造体
  • (b)マイクロピラミッド
  • (c)サブミクロン周期構造(ピッチ:500nm)