光によるナノ構造体創成


4軸制御レーザ加工装置

 実際の加工現場での過酷な作業環境でも使用可能で、長寿命の高出力紫外線パルスレーザを開発するとともに、それを用いて周期性あるいはランダム性のナノ構造を創成し、新しい機能性インターフェイスを提案する。本加工法は、工業用のみならず、バイオ、医学用デバイスのナノ微細加工分野への波及効果が期待されている。