微小穴、微細溝加工

 超音波砥粒加工により、ガラスやセラミックス等の硬脆材料に対しサブミリサイズ(10〜数100μm)の微小穴、微細溝、3次元微小構造体を形成するためのマイクロ超音波加工システムを開発した。高品位な加工形状が得られるように電気粘性流体援用法を採用した。極微粒スラリ(遊離砥粒懸濁液)を供給しながら、マイクロ工具を1次元走査させることにより穴加工を、2次元走査させることにより溝加工を、3次元走査させることにより立体形状を創成することが可能である。さらにアスペクト比が10以上の深穴加工も可能となった。

  • マイクロ超音波研削で製作した超硬製マイクロ工具
  • マイクロ穴加工における電気粘性流体援用の効果