ナノ精度機械加工技術

 日本の“ものづくり”がこれからも世界をリードしていくためには、海外の技術では到達できないような、より高い精度と付加価値をもった製品開発を強力に推進していかなければならない。そのためには、ナノオーダーの超平滑な表面、並びにナノ精度の3次元形状を有する構造体を創成する超精密加工技術と、原子や分子の加除を精緻な制御によって達成し、微細な構造体を創成する超微細加工技術の2つを駆使した生産加工技術の開発研究の促進が必要不可欠である。本研究は、ナノオーダーの超平滑な表面、並びにナノ精度の3次元形状を有する自由曲面等の構造体を創成する超精密機械加工技術をさらに進展させるための新しい加工法の研究開発を行っている。これまでの形状創成に加え、機能創成まで考慮した新しいインターフェイス創成を目指すものである。

ナノ精度研削加工

  1. 超安定非球面加工法
  2. パラレル研削法と円弧包絡研削法
  3. ナノトポグラフィー創成理論と研削条件最適化理論
  4. 石英ガラスの高能率高品位非球面研削
  5. 非接触非球面計測法の開発
  6. ナノ精度研削のための均一分散分級極微粒ダイヤモンド砥石の開発
  7. 超精密ツルーイング・ドレッシング法
  8. 高砥粒密度レーザコンディショニング
  9. 超精密平面ホーニング加工

ナノ精度切削加工

  1. ナノ粒子潤滑援用工具揺動切削法による硬脆材料の超精密切削
  2. 屈折・回折複合非球面光学素子用金型の加工
  3. 微細溝の切削加工
  4. レンズアレイ金型の切削加工
  5. 半導体基板の延性モード切削加工
  6. 切削によるプラナリゼーシヨン
  7. 加工変質層の評価及び修復

ナノ精度研磨加工

  1. 新しいマイクロ研磨工具創成
  2. 電気粘性流体援用マイクロ研磨加工

ナノ精度成形加工

  1. 高品位高速非球面ガラスレンズ成形装置並びに金型の開発
  2. 平面3次元微細形状成形
  3. 3次元ナノインプリント
  4. マルチスケールマルチフィジックスシミュレーションによるガラス成形ダイナミクス解明